熱式質(zhì)量流量計是基于熱量在流體中的傳遞進(jìn)行測量的，根據熱力學(xué)原理的不同可以分為熱分布式質(zhì)量流量計和熱擴散式質(zhì)量流量計兩種。熱分布式質(zhì)量流量計作為一種非接觸式儀表，適用于小口徑微小流量的測量；熱擴散式質(zhì)量流量計作為一種插入式儀表，其傳感器放置于管道中間，適用于較大口徑流量的測量。
1、熱分布式質(zhì)量流量計
熱分布式質(zhì)量流量計基于流體流動(dòng)轉移熱量從而改變前后管壁溫度分布的原理而工作的，其測量原理如圖1.1所示。傳感器部分由一個(gè)加熱器和兩個(gè)測溫元件構成，加熱元件布置在管道中間并進(jìn)行恒功率加熱，兩個(gè)測溫元件對稱(chēng)布置在加熱元件的上下游測量管壁溫度。
當流速為零時(shí)，加熱元件兩端溫度分布相同，此時(shí)管壁溫度分布如圖1.2中藍線(xiàn)所示。當流速不為零時(shí)，流體流動(dòng)將上游管壁的熱量傳輸到下游管壁，從而改變管壁的溫度分布，此時(shí)管壁溫度分布如圖1.2中紅線(xiàn)所示。在一定流量范圍內，測溫元件之間的溫差T與被測流量Q之間成線(xiàn)性關(guān)系。因此，通過(guò)測量?jì)蓚€(gè)測溫元件之間的溫度差便可直接計算出對應的流量。
熱分布式質(zhì)量流量計可測極微小流速且分辨率高，傳感器安裝在管道上且與流體不接觸，避免了流體的壓力損失。此后，在熱分布式質(zhì)量流量計基礎上，通過(guò)改進(jìn)發(fā)展出毛細管式熱式質(zhì)量流量計，在其主管道附近增加了一個(gè)直徑小得多的旁路管道，傳感器安裝在此旁路管道上，一部分被測介質(zhì)通過(guò)旁路進(jìn)行流動(dòng)并改變此旁路的溫度分布。
2、熱擴散式質(zhì)量流量計
熱擴散式質(zhì)量流量計基于金氏定律，其傳感器被不銹鋼鋼套包裹并插入到管道中間，一個(gè)傳感器測量流體的溫度，稱(chēng)為測溫探頭，另一個(gè)傳感器被用來(lái)加熱，稱(chēng)為測速探頭。在流體流速穩定時(shí)，流體流動(dòng)帶走的熱量與電路提供的加熱熱量相等實(shí)現熱平衡，根據加熱功率或探頭之間的溫差與質(zhì)量流量之間的關(guān)系便可計算出質(zhì)量流量，熱擴散式質(zhì)量流量計的使用與測量方法如圖1.3所示。
熱擴散式質(zhì)量流量計傳感器無(wú)可動(dòng)部件，被測流體壓力損失較小，可測流速范圍較大，可以實(shí)現100：1甚至是1000：1的量程比，因而在化工、發(fā)電和通風(fēng)測量等領(lǐng)域中得到了廣泛應用。
根據測量方法的不同，熱擴散式流量計又可以分為恒功率和恒溫差型兩種，兩者在傳感器設計、信號調理電路和信號處理方法等方面具有較大的差異。
