熱式質(zhì)量流量計的優(yōu)勢與劣勢
發(fā)布時(shí)間：2022-06-20 08:43:03
1、熱式質(zhì)量流量傳感器優(yōu)勢：
（１）靈敏度高：熱式傳感器對溫度的變化非常敏感，因此非常易于測量；
（２）功耗低：因為尺寸和感溫材料的不斷優(yōu)化，傳感器的功耗越來(lái)越低；
（３）尺寸?。含F在的熱式傳感器結構因為采用ＭＥＭＳ工藝，一般是厘米或者微米級；
（４）量程大：測量下限很低，可以測量微小流量；
（５）集成度高：結合ＭＥＭＳ工藝可以將芯片、流道和信號處理電路集成到一起；
（６）結構簡(jiǎn)單：硅基片上結構包裝后方便安裝在需要的設備上；（７）成本低：可以結合成熟的集成電路工藝在硅基上批量生產(chǎn)。2、熱式質(zhì)量流量傳感器劣勢：
（１）測量氣體組分單一：當氣體種類(lèi)改變時(shí)，不同氣體的導熱系數、粘度、比熱容都有差別，測量時(shí)會(huì )帶來(lái)較大的誤差；
（２）要求氣體干燥無(wú)污染：濕度較大的氣體對傳感器表面的熱量交換有影響，進(jìn)而影響到輸出結果；顆粒物對傳感器的輸出結果也有影響。
