1、鐘罩式氣體流量標準裝置
鐘罩裝置是一種標準的的容積式標準裝置,其特點(diǎn)是裝置體積大,工作壓力較低,氣體濕度對流量校準的影響較大,裝置的操作相對較復雜。因此,鐘罩裝置只適用于檢定/校準壓力不高、流量范圍不大的流量計,并且只能在實(shí)驗室進(jìn)行,使用要求受限較大。目前我國最大的鐘罩式氣體流量標準裝置鐘罩容積為10m3,流量范圍為2000m/h,裝置擴展不確定度為0.1%(k=2)。
2、PVTt法氣體流量標準裝置
PVTt法是通過(guò)測量一定時(shí)間間隔內,氣體進(jìn)入或流出容積的容器罐,以及壓力和溫度,根據理想氣體狀態(tài)方程計算,復現氣體質(zhì)量流量的標準裝置。PVTt法氣體流量裝置測量精度高、設備簡(jiǎn)單,濕度影響小,但裝置結構對熱力學(xué)溫度和絕對壓力的測量要求很高,標準容器內氣體要達到穩定狀態(tài)的時(shí)間較長(cháng)。
活塞式裝置則是利用該原理,采用活塞和缸體組成一個(gè)充滿(mǎn)氣體的腔體,在工作時(shí),需保持活塞缸的密閉性,同時(shí)控制活塞在缸體內沿著(zhù)一定方向迅速運動(dòng),使氣體均勻地進(jìn)入或排出活塞和缸體組成的腔體。通過(guò)活塞缸的內截面面積、活塞移動(dòng)的距離以及活塞移動(dòng)的時(shí)間,就可以計算出標準流量。該裝置具有流量點(diǎn)易調節、穩定性高、重復性好等優(yōu)點(diǎn),適用于小微氣體流量的測量。我國某計量研究機構研制了一套活塞式氣體小流量標準裝置,該裝置可檢測流量范圍為(5mL-50L)/min,擴展不確定度不低于0.19%(k=2)。
3、mt法氣體流量標準裝置
mt法即直接測量質(zhì)量和時(shí)間的方法,是測量氣體質(zhì)量流量最直接的方法,其精度也最高。因為質(zhì)量和時(shí)間均屬于七個(gè)基本量之一,量值可得到最直接的傳遞。該方法需要儲氣裝置質(zhì)量相對氣體質(zhì)量較大,提高氣體占總稱(chēng)量的比重才能提高流量計量的準確度;為了提高氣體流動(dòng)的穩定性,需在上游安裝臨界節流裝置;校準小流量時(shí),需要提高氣體的壓力。該標準裝置最大優(yōu)點(diǎn)在于可以直接得到質(zhì)量流量,但因為轉向系統降低了裝置的可靠性。
4、標準流量計法氣體流量標準裝置
標準流量計法氣體流量標準裝置是計量領(lǐng)域中常用的傳遞標準裝置??梢杂米鳂藴时淼耐ǔS信R界流音速?lài)娮?、渦輪流量計、氣體羅茨流量計和超聲流量計等等。在小微流量標準流量計中,層流流量計作為標準表也越來(lái)越受計量檢測單位的重視,其精度高、耐高壓、體積小、結構簡(jiǎn)單、系統裝置操作簡(jiǎn)易,是一個(gè)高精度的小微氣體流量標準裝置。