微壓差表廣泛應用于藥廠(chǎng)和微電子廠(chǎng)對環(huán)境微壓差的測量，它是利用簡(jiǎn)單、無(wú)摩擦的磁體螺旋運動(dòng)，以橡膠膜片作為敏感元件進(jìn)行測量的彈性式壓力表，可以利用指針較快的指示出壓力值。作為彈性元件式壓力表，檢定時(shí)采用的是JJG 52—2013彈性元件式一般壓力表檢定規程。但微壓差表是一種特殊的壓力表，它是用于測量?jì)蓚€(gè)壓力的差值，而且測量的差壓值非常小，當采用JJG 52—2013檢定規程會(huì )出現比較常見(jiàn)的問(wèn)題，下面就這些常見(jiàn)的問(wèn)題進(jìn)行分析。
1、標準器不能完全覆蓋
目前檢定微壓差表的常用標準器有補償式微壓計和數字壓力計。微壓差表有些量程為0～30Pa準確度等級為4級，則允許誤差為±1.2 Pa，依據JJG 52—2013壓力表檢定規程要求標準表的允許誤差不大于被檢表允許誤差的四分之一，所以檢定0～30Pa微壓差表的標準器允差應不大于±0.3Pa，而一等補償式微壓計的允差為±0.4Pa，測微壓的數字壓力計對傳感器的要求很高，一些數字壓力計的允差最小只能做到±0.5Pa，且JJG 52—2013檢定規程規定如果用數字壓力計當標準器必須0.05級以上且年穩定性合格，所以補償式微壓計和數字壓力計當標準器都很難完全覆蓋微壓差表所有量程。對于不能覆蓋的量程范圍，檢定時(shí)不能判斷其是否合格，不能出具檢定證書(shū)，只能出具校準證書(shū)并給出不確定度供客戶(hù)參考。
2、微壓差表靜壓零位誤差測量
微壓差表用于測量?jì)蓚€(gè)壓力差值，有高壓和低壓端口，存在靜壓影響，應測量其靜壓零位誤差，而JJG 52—2013檢定規程沒(méi)有對靜壓零位誤差的測量進(jìn)行要求。當測量微壓差表的靜壓零位誤差較大時(shí)，可能會(huì )導致此表在工作中所測量的差壓值出現較大的誤差，若超出允許誤差范圍，就不能判斷此微壓差表合格。所以建議在檢定微壓差表時(shí)應測量其靜壓零位誤差，當靜壓零位誤差較大時(shí)應謹慎出具檢定證書(shū)。靜壓零位誤差測量方法:將微壓差表高壓端和低壓端通過(guò)三通管連接在壓力發(fā)生器上，通過(guò)壓力發(fā)生器產(chǎn)生額定靜壓，然后讀取被檢表零位的變化量。
本實(shí)驗室選擇10臺準確度等級為4級量程為0～60Pa的微壓差表進(jìn)行靜壓零位誤差測量實(shí)驗，根據說(shuō)明書(shū)規定施加額定靜壓10kPa，重復測量三次取平均值。靜壓零位誤差測量結果分別為:0.0、0.0、－0.4、0.0、+0.8、0.0、+0.4、+0.4、0.0、0.0Pa，分度值為2Pa。
實(shí)驗結果顯示這10臺微壓差表靜壓零位誤差都在允差范圍內，如果靜壓零位誤差大于最大允許誤差，建議出具校準證書(shū)且告知客戶(hù)靜壓零位誤差偏大。
3、微壓差表壓力穩定時(shí)間的測量
在檢定過(guò)程中給微壓差表施加壓力時(shí)，發(fā)現有個(gè)別的表指針偏轉雖然平穩但指針偏轉相對緩慢，出現滯后的情況，可能是因為微壓差表機械結構出現問(wèn)題導致靈敏度較差引起的。微壓差表如果滯后的時(shí)間較長(cháng)就不能及時(shí)的顯示所測量的差壓值，可能會(huì )給企業(yè)的使用帶來(lái)一定的影響。而JJG 52—2013檢定規程沒(méi)有對壓力穩定的時(shí)間進(jìn)行要求，所以建議在檢定微壓差表時(shí)可以測量壓力穩定所需時(shí)間。微壓差表穩壓時(shí)間測量方法:施加微壓差表測量范圍上限壓力，測量從標準器壓力穩定時(shí)到被檢表壓力穩定所需的時(shí)間。從平時(shí)的檢定中發(fā)現微壓差表穩壓時(shí)間在5s以?xún)?，當微壓差表穩壓時(shí)間在10s以上時(shí)應謹慎出檢定證書(shū)，建議出具校準證書(shū)，并告知客戶(hù)穩壓時(shí)間過(guò)長(cháng)。
